在真空滤油机中真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量，使用真空泵时必须把它保护好。如果蒸馏挥发性较大的有机溶剂时，有机溶剂会被油吸收结果增加了蒸气压，从而降低了抽空效能，如果是酸性气体，那就会腐蚀油泵，如果是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。

因此真空滤油机使用真空泵时必须注意几点：

在蒸馏系统和真空泵之间，必须装有吸收装置。减压系统必须保持密不漏气，所有的橡皮塞的大小和孔道要一致，橡皮管要用真空橡皮管，在磨口玻璃也要涂上真空油脂。真空油泵可以抽到133.3Pa(1mmHg)以下真空。

根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类：

 (1)一般水泵，压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为"粗"真空。

 (2)油泵，压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为"次高"真空。

 (3)扩散泵，压强可达0.133Pa以下，(10-3mmHg)为"高"真空。